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3月23日上午，在上海市科学技术奖励大会上，王曦院士获颁上海市科技功臣奖

在许多人眼中，中科院院士、中科院上海微系统所所长王曦既是一位具有全球视野的战略科学家，也是一位开拓创新而又务实的企业家。

他带领团队制备出了国际最先进水平的SOI晶圆片，解决了我国航天电子器件急需SOI产品的“有无”问题，孵化出我国唯一的SOI产业化基地，实现了微电子材料的跨越式发展。

他在上海牵头推进了一批半导体重大项目——12英寸集成电路硅片项目有望填补我国大尺寸硅片产业空白；磁存储器和硅光子项目为上海未来微电子技术的差异化发展提供了新思路；致力于“超越摩尔”技术创新和产业化的上海微技术工业研究院，已成为上海建设全球科创中心第一个启动的研发与转化功能型平台。

在今天召开的上海市科学技术奖励大会上，王曦荣获上海市科技功臣奖。

相当于从巴黎到上海的一次飞行，振动幅度不能超过1.5厘米

SOI技术被称为“二十一世纪的硅集成电路技术”，王曦1987年从清华大学工程物理系毕业后，一直从事相关研究，可谓三十年磨一剑。说到这一技术，王曦打了个比方：“这就像是三明治，在两层硅的中间，包裹着一层二氧化硅。”最上面的硅既要薄，还要均匀，比如12寸硅片的均匀度，相当于从巴黎到上海的一次飞行，其振动幅度不能超过1.5厘米。

王曦手捧着8英寸硅片

2016年2月，搭载了SOI芯片的新一代北斗导航卫星发射成功，该芯片可以预防卫星的“大脑”形成“脑血栓”。空间辐射会对卫星造成影响，王曦团队制备出的国际一流的SOI晶圆片，解决了这一问题。2001年7月，王曦提出把这一技术推向市场，成立了上海新傲科技股份有限公司，仅用了5个多月，建成了我国第一条SOI生产线。这引起了美国硅谷《半导体商业新闻》的注意，他们惊呼：中国出现了一个现代化的SOI工厂。该项技术在2006年获得国家科技进步奖一等奖。

除了在空间的应用，上海微系统所还在2015年研制成功了当时世界最高集成度的SOI硅光芯片。

缺少12英寸大硅片，集成电路产业就只能停留在中低端水平

王曦喜欢下围棋，因为只要善于谋篇布局，做的“势”就会越来越大。在推进上海半导体产业发展这盘“棋”时，王曦一直在应势布局。

我国每年要花费2千多亿美金进口集成电路，远远超过原油进口。就集成电路制造而言，我国一个月要消耗几十万块硅片，能自主提供的仅仅几万片。目前全球仅欧美日韩的五家企业有能力量产12英寸大硅片，我国市场100%依赖进口。缺少这一材料，我国集成电路产业就还只是停留在中低端水平，成为“中国制造”之痛。审时度势之下，2013年6月，王曦和中芯国际创始人张汝京博士共同建言，在上海启动12英寸大硅片的研发。为填补这一产业空白，上海新昇科技有限公司于2014年6月成立。仅用一年多的时间，上海新昇就完成厂房建设和设备安装。2016年，上海新昇拉出国内第一根12英寸高质量晶棒，2017年下半年大硅片量产，销售近10万片。

每一次布局“落子”，都是对行业的深刻洞察。硅光子，最早可用于光通讯，现在可用于无人驾驶。2008年很多人并不看好这一方向，在经过调研之后王曦予以坚定投入，如今这一平台成为国际上第三个专用的硅光子工艺平台；传感器是物联网技术中重要而又薄弱的一环，于是专注传感器芯片的矽睿公司应运而生；以往从实验室成果到量产，中试是一道“槛”，于是国内首条全球领先的8英寸“超越摩尔”研发中试线启动运营，助攻创新研发；去年因存储器涨价，国内很多企业遭受损失，于是主动布局下一代产品磁存储器芯片技术的研发。

探索企业化路径，跨越科技成果转化“死亡之谷”

“我还不算‘疯狂’科学家，相比基础研究，我觉得自己更擅长产业化。”王曦告诉解放日报·上观新闻记者。这位科学家，确实有着不一般的企业家基因。

曾经在硅谷创办了两家公司的杨潇在创建上海微技术工业研究院时，为是否要企业化运作感到纠结，当时最大的的困难就是经费问题，而最简单的办法是成立事业单位。王曦却下定决心要探索一条企业化的新路径，来跨越科技成果与产业界之间的“死亡之谷”。如今这一共性化技术平台已建成产业加速的生态链，不仅被上海认可，还在全国得到推广。短短数年，亦从最初完全由政府投入，到85%的收入来自产业化。

王曦（中）工作照

上海硅产业投资有限公司执行副总裁李炜与王曦共事20年，对其运筹帷幄的能力感佩不已。2001年王曦带领6个博士创立了新傲公司，当时的家底是1300万，现在的市值是13亿，增加了100倍；2014年，全世界的硅片处于亏损低谷，王曦带着团队为新昇公司的融资“差点跑断腿”。如今新昇公司月产数万片300mm硅片，预计明年的产能翻倍，未来几年将提升到月产100万片；2016年，占有全球高端硅材料市场70%份额的法国公司Soitec，由于副业经营不善濒临破产，王曦看中其硅材料的生产能力，由上海硅产业投资有限公司对其参股。当时的股价成本是9.2欧元，现在最高时涨到了70欧元，投资回报率达600%。另一家全资收购的芬兰公司Okmetic，去年则取得了最好的盈利水平，未来三年它的规模将扩大一倍。去年4月，上海硅产业投资有限公司聘请了“半导体领域最厉害的人”、美国MEMC电子材料公司前首席执行官Nabeel Gareeb先生，可谓大手笔。

一直有个梦想，让科学家心无旁骛做研究

去年9月26日，张江实验室正式挂牌成立，王曦担任张江实验室主任。一接到这个任务，他就赶赴美国和德国的国家实验室学习考察。这两天，又忙着和法国国家实验室签订战略合作协议。张江实验室初期拟采取“1+2+1”的布局：“1”指光子科学大科学设施群及相关基础研究；“2”指生命科学、信息技术两大攻关研究方向；“1”指生命科学与信息技术交叉方向——类脑智能。

“我一直有个梦想，让科学家心无旁骛做研究。接下来，张江实验室会有许多的体制机制创新，包括科研经费的使用。”王曦说。

王曦比过去更加忙碌了，同事们形容他的工作节奏是“5+2”“白加黑”，凌晨两三点收到他发来的邮件再正常不过。为了应对工作压力，他尽可能每周打一次羽毛球，已经坚持了15年。

“正是因为中国的蓬勃发展，才成就了上海微系统所走过的传奇之路。”王曦说，当年为了把SOI晶圆片卖出去，他们找到法国知名公司Soitec想去谈合作，结果对方根本不予理睬，只能在公司门口留个合影。如今，王曦成为了这家公司的董事。

过往已经归零，明日征途漫漫。“我以前是无知无畏，现在虽然有困难，但看到了方向，也就更加有激情。”

王曦简介

中国科学院院士，我国著名半导体材料学专家，高端集成电路衬底材料的主要开拓者和领军人物。现为中科院上海微系统与信息技术研究所所长、中科院上海高等研究院院长、张江实验室主任，中国共产党第十九届中央委员会候补委员，中国科学技术协会副主席，亚洲科学理事会候任主席，上海市决策咨询委员会委员。